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机译:电子束手写光栅的多光束干涉光刻
H. H. Solak; B. Steinacher; C. David; J. Gobrecht (psi;
机译:电子束写入光栅的多光束干涉光刻
机译:软X射线各种线间距光栅使用电子束光刻写入相位掩模制造禁区全能
机译:不变空间多光束消色差EUV光刻
机译:具有电子束光刻制造的凹陷蚀刻光栅结构的准1维电子波干扰晶体管
机译:用于多束电子束光刻的薄膜栅极光阴极。
机译:使用电子束光刻写入的相位掩模通过近场全息术制造的软X射线变化线间隔光栅
机译:使用电子束光刻写入相掩模,由近场全息术制造的软X射线变化线间隙
机译:电子管用电子枪及电子管多束多束电子枪
机译:用于图案化用于高亮度LED的晶片的光出射面的干涉光刻设备,具有低周期长度的相位/火焰光栅,用于子光束在像平面中的相干叠加
机译:电子束光刻技术的数据形成方法,电子束光刻技术,制造半导体器件的方法以及电子束光刻技术
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